Halbleiterherstellung
Minco ist Experte in der Auslegung von Thermo-Komponenten für die Halbleiterindustrie. Wärme ist ein kritischer Faktor bei der Herstellung und Prüfung von Halbleitern. Große Mengen verfügbarer Wärme ermöglichen eine größere Produktionsleistung. Die Verringerung von Temperaturunterschieden über eine Heizfolie bedeutet weniger Schwankungen in einem Wafer und somit eine höhere Ausbeute. Ein weniger störanfälliges Heizelement reduziert das Risiko von Ausfallszeiten. All dies lässt sich in Produktivität und Profit umsetzen. Mincos Technologie der flexiblen Thermofoil™-Heizfolien hilft Ihnen Ihre Zielvorstellungen im thermischen Design zu verwirklichen.
Sprechen Sie von Fachmann zu Fachmann, E2E - Engineer to Engineer
, über Design und Herstellung von:
- Heizfolien für Plasmaätzsysteme mit hohem Heizleistungs- und Aufwärmzeit-Anspruch.
- Gleichförmig beheizten Wafer-Chucks für Prüfstationen
- Werkseitig in IC-Testausrüstungen installierten Heizfolien
- Mehrbereichheizfolien für Photoresist -Spursysteme/Tracksysteme
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